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Fabiano Pinto Pereira, Dácio Moreira Souza and Dante Ferreira Franceschini - In-situ optical characterization of plasma deposited a-C:H films during deposition by CH4 plasmas and erosion by N2-H2 plasmas -  11th International Conference on advanced materials - ICAM 2009 - Rio de Janeiro - 20 a 25 de setembro de 2009

Tipo
Trabalhos em conferências internacionais
Grupo de pesquisa
Laboratório de Produção de Nanomateriais - Universidade Federal Fluminense (UFF)
Coordenador
Prof. Dante Ferreira Franceschini Filho

Palavras-chave: 2009, congresso, engenharia de superfícies, films, franceschini filho, Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies, optical, plasma, surface engineering, uff

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