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Emissão de nanopartículas por impacto de feixe de íons

quinta-feira, 15 de julho de 2021 14:51

Desbastamento eletrônico é o fenômeno que acontece quando determinados íons em determinadas condições impactam um sólido, fazendo com que uma quantidade relativamente grande de material seja ejetada.

Ajustando as condições, é possível desbastar muito material com apenas um íon. Por isso, o fenômeno é usado como técnica para modificar superfícies ou depositar filmes finos.

Um estudo realizado com participação de pesquisadores da UFRGS, membros do Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies, trouxe a primeira evidência de emissão de nanopartículas por desbastamento eletrônico da superfície de um material macroscópico - no caso, fluoreto de cálcio, o qual pertence à família dos cristais iônicos.

A demonstração foi possível graças à combinação complementar de técnicas de análise de superfície (microscopia eletrônica de transmissão, microscopia de força atômica e espalhamento de íons para energias intermediárias).

O trabalho permitiu  compreender melhor os mecanismos envolvidos no desbastamento eletrônico de materiais e pode impactar no aprimoramento de técnicas como litografia direta por feixe de íons e de sistemas para medida de espectrometria de massa por íons secundários.

Um artigo científico reportando esta pesquisa pode ser encontrado na revista Applied Surface Science: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.147821

Fonte: Gerência de Comunicação do Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies

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