Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies

Artigos e Patentes

Laboratório de Implantação Iônica - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)

Referência

J.M.J. Lopes, U. Littmark, M. Roeckerath, E. Durgun Özben, S. Lenk, U. Breuer,A.
Besmehn, A. Stärk, P.L. Grande , M.A. Sortica, C. Radtke, J. Schubert, S. Mantl, Isotopic labeling study of oxygen diffusion in amorphous LaScO3 high-κ films on Si(100) and its effects on the electrical characteristics, Appl Phys A  96 (2009) 447-451.

Tipo
Artigos em periódicos internacionais indexados
Grupo de pesquisa
Laboratório de Implantação Iônica - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
Coordenador
Prof. Pedro Luís Grande

Palavras-chave: 2009, engenharia de superfícies, grande, Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies, journal, Oxygen diffusion, periódico, surface engineering, UFRGS

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