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Referência
W. J. Min, G. Marmitt, P. L. Grande, and D. W. Moon, “Round-robin test of medium-energy ion scattering for quantitative depth profiling of ultrathin HfO2 /SiO2 /Si films,” Surf. Interface Anal., no. January, pp. 1–10, 2019.
Tipo
Artigos em periódicos internacionais indexados
Grupo de pesquisa
Laboratório de Implantação Iônica - Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS)
Coordenador
Pedro Grande

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