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G. A. Viana and F. C. Marques. Amorphous Carbon Deposited By Sputtering And Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Without Vacuum Pumping During Deposition, International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, San Diego, April 27, 2009.

Tipo
Trabalhos em conferências internacionais
Grupo de pesquisa
Laboratório de Pesquisas Fotovoltaicas - Universidade Estadual de Campinas (Unicamp)
Coordenador
Francisco das Chagas Marques

Palavras-chave: 2009, carbono amorfo, chagas marques, conferência internacional, PECVD

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