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DAUDT, N. F. ; BARBOSA, J. C. P. ; BARBOSA, J. C. P. ; BRAZ, D. C. ; CARDOSO, M. O. ; PEREIRA, M. B. ; ALVES C. . The effect of active species during TiN thin film deposition by the cathodic cage plasma process. Ceramic Transactions, v. 240, p. 149-157, 2013.

Tipo
Artigos em periódicos internacionais indexados
Grupo de pesquisa
Laboratório de Processamento de Materiais por Plasma - LabPlasma - Universidade Federal do Rio Grande do Norte (UFRN)
Coordenador
Clodomiro Alves Jr

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